等離子表面處理作用OLED顯示板起到清洗、濺射和微蝕刻的成效：
       近年來，OLED已成為國內(nèi)外非常受歡迎的新興平板顯示產(chǎn)品，這是因?yàn)镺LED顯示設(shè)備有著自發(fā)光、色域廣、視角廣、反應(yīng)時間短、發(fā)光效率高、工作電壓低、面板薄（厚度小于1mm，可制作大尺寸可燃曲面板，制作簡單，成本低，被稱為世紀(jì)明星平板顯示產(chǎn)品，與其它顯示技術(shù)相比有著很大的優(yōu)勢。隨著各種技術(shù)的突破和加工技術(shù)的成熟，它將迎來快速發(fā)展。

        等離子表面處理機(jī)主要用于OLED顯示器件生產(chǎn)過程中有機(jī)污染的清洗處理。plasma與材料表面的相互作用可產(chǎn)生3種基本現(xiàn)象：清洗、濺射和微蝕刻。基于這三種現(xiàn)象，可以去除材料和設(shè)備表面的污染，并在表面產(chǎn)生有著活化性能的懸掛按鈕，以提升表面活性。加熱主要是由電子和離子對材料表面的轟擊和等離子體的管轄權(quán)引起的。加熱效應(yīng)可以去除物理吸附或松散的污染。物理濺射是最常見的清潔方法。表面上的所有原子都可以去除，濺射過程中沒有選擇性，清洗可能伴隨著表面材料原子的去除，或者清洗結(jié)束時殘留有機(jī)分子。等離子表面處理濺射率取決于材料的表面性質(zhì)和污染物的類型。蠟燭雕刻等離子表面處理是原子或自由基與表面污染分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的過程。其反應(yīng)產(chǎn)物通常具有一定揮發(fā)性，很容易從材料表面分離。