CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)3個(gè)方面的使用方法

一、誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)使用操作流程
1.進(jìn)入“主機(jī)界面”,點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“功能畫(huà)面”選擇“參數(shù)頁(yè)面”修改清洗時(shí)間或清(除)清洗數(shù)據(jù)。
2.點(diǎn)擊“下一頁(yè)”進(jìn)入“手動(dòng)頁(yè)面”將氧氣氬氣閥門設(shè)置為打開(kāi)狀態(tài),返回主機(jī)界面。
3.誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)調(diào)節(jié)功率,功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%,根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。
4.誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)將被處理物放置等離子清洗機(jī)真空腔內(nèi),關(guān)好腔門,按下啟動(dòng)按鈕,開(kāi)始抽真空。
5.待腔體產(chǎn)生輝光,根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求,手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕添加輔助性氣體。
6.到達(dá)處理時(shí)間后,平衡閥自動(dòng)復(fù)原,3秒左右恢復(fù)常壓,無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí),腔門自動(dòng)打開(kāi)。
7.打開(kāi)腔門,取出被處理物,一個(gè)處理過(guò)程結(jié)束。
溫馨提示:以上各命令都可在鍵下終止,回到復(fù)位狀態(tài)。所有數(shù)字量都可自由調(diào)整,確認(rèn)鍵后記憶保存,斷電不丟。

等離子清洗機(jī)

二、誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)手動(dòng)狀態(tài)下運(yùn)行處理的方法:
1.crf等離子清洗機(jī)調(diào)節(jié)功率,功率調(diào)節(jié)范圍80%-100%,根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行調(diào)節(jié)。
2.將被處理物體放置到倉(cāng)內(nèi),關(guān)好倉(cāng)門,按下啟動(dòng)鈕,開(kāi)始抽真空。
3.真空度達(dá)到要求時(shí),按下射頻電源鈕(打開(kāi)狀態(tài)為:黃色燈亮“開(kāi)”),加入射頻高壓,處理過(guò)程開(kāi)始。
4.待腔體產(chǎn)生輝光,根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求,打開(kāi)氧氣氬氣閥門開(kāi)關(guān)(打開(kāi)狀態(tài)為:黃色燈亮“開(kāi)”),手動(dòng)調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕添加輔助性氣體。
5.到達(dá)處理時(shí)間后,復(fù)原平衡閥鈕,3秒左右恢復(fù)常壓,無(wú)進(jìn)氣聲響時(shí),腔門自動(dòng)打開(kāi)。
6.打開(kāi)腔門,取出被處理物,一個(gè)處理過(guò)程結(jié)束。
溫馨提示:在手動(dòng)狀態(tài)下,可設(shè)定氧氣閥、氬氣閥、真空泵、射頻電源、平衡閥的開(kāi)關(guān)選擇,進(jìn)行數(shù)據(jù)工作。
三、誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)使用氣體時(shí)需注意的事項(xiàng):
1.crf等離子清洗機(jī)在觸摸屏的手動(dòng)畫(huà)面打開(kāi)氣閥;
2.誠(chéng)峰小型crf等離子清洗機(jī)腔內(nèi)激發(fā)輝光后,再扭開(kāi)流量計(jì)注入;
3.兩路氣體,機(jī)體前面板上的流量計(jì)與機(jī)體背面的氣孔口為對(duì)應(yīng)一致接入工作。

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