Type：CRF-VPO-20L-S

外接電源：220V/AC, 50/60Hz, 3kW

等離子功率：600W/13.56MHz (can be customized according to customer needs)

腔體容量：8L (can be customized according to customer needs)

有效處理面積 ：470(L)*320(W)(Option)

工作氣體：Two gas options: Ar, N2, H2, CF4, O2

Type：CRF-APO-RP1020-D

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：600-1000W/25KHz (Option)

處理高度：5-15mm

處理寬幅：Rotary jet type: 20-80mm (Option)

工作氣體：(0.4mpa)/N?(0.2mpa

Type：CRF-VPO-8L-M

外接電源：380V/AC,50/60Hz

等離子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔體容量： 80L

腔體層數： 8

處理氣體：Ar、N2、H2、CF4、O2

Type：CRF-APO-RP1020-D

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：600-1000W/25KHz（Option）

處理高度：5-15mm

處理寬幅：Rotary jet type: 20-80mm (Option)

工作氣體：(0.4mpa)/N2(0.2mpa)

Type：CRF-APO-500W-W

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：2set*1000W/25KHz(Option)

處理高度：5-15mm

處理寬幅：50mm-500mm（Option）

工作氣體：Compressed Air(0.4mpa)

Type：CRF-APO-IP-XXHD

外接電源：220V/AC,50/60Hz

等離子功率：800W*4set/ 25KHz

處理高度： 5-15mm

等離子噴槍數量：4(MAX)

工作氣體：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)